Karbon Tetraflorür (CF4) Yüksek Saflıkta Gaz
Temel Bilgiler
| CAS | 75-73-0 |
| EC | 200-896-5 |
| UN | 1982 |
Bu malzeme nedir?
Karbon tetraflorür, standart sıcaklık ve basınçta renksiz, kokusuz bir gazdır. Güçlü karbon-flor bağları nedeniyle kimyasal olarak oldukça inerttir. Bu, normal koşullar altında en yaygın maddelerle reaksiyona girmemesini sağlar. CF4, küresel ısınmaya katkıda bulunan güçlü bir sera gazıdır.
Bu malzeme nerede kullanılır?
1. Yarı İletken Üretimi: CF4, elektronik endüstrisinde plazma aşındırma ve kimyasal buhar biriktirme (CVD) işlemleri için yaygın olarak kullanılmaktadır. Yarı iletken cihazlarda kullanılan silikon plakaların ve diğer malzemelerin hassas şekilde aşındırılmasına yardımcı olur. Bu işlemler sırasında istenmeyen reaksiyonların önlenmesinde kimyasal inertliği çok önemlidir.
2. Dielektrik Gaz: CF4, yüksek voltajlı elektrikli ekipmanlarda ve gaz yalıtımlı şalt sistemlerinde (GIS) dielektrik gaz olarak kullanılır. Yüksek dielektrik dayanımı ve mükemmel elektriksel yalıtım özellikleri onu bu uygulamalarda kullanıma uygun hale getirir.
3. Soğutma: CF4, bazı düşük sıcaklık uygulamalarında soğutucu olarak kullanılmıştır, ancak yüksek küresel ısınma potansiyeline ilişkin çevresel kaygılar nedeniyle kullanımı azalmıştır.
4. İzleyici Gaz: Sızıntı tespit proseslerinde, özellikle yüksek vakumlu sistemlerde ve endüstriyel ekipmanlarda sızıntıların tespit edilmesinde izleyici gaz olarak kullanılabilir.
5. Kalibrasyon Gazı: CF4, bilinen ve kararlı özellikleri nedeniyle gaz analizörlerinde ve gaz dedektörlerinde kalibrasyon gazı olarak kullanılır.
6. Araştırma ve Geliştirme: Malzeme bilimi, kimya ve fizik deneyleri dahil olmak üzere çeşitli amaçlarla laboratuvar araştırma ve geliştirmelerinde kullanılır.
Bu malzemenin/ürünün kullanımına ilişkin özel uygulama ve düzenlemelerin ülkeye, sektöre ve amaca göre değişebileceğini unutmayın. Bu malzemeyi/ürünü herhangi bir uygulamada kullanmadan önce daima güvenlik kurallarına uyun ve bir uzmana danışın.
