Azot Triflorür (NF3) Yüksek Saflıkta Gaz
Temel Bilgiler
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Bu malzeme nedir?
Azot triflorür (NF3), oda sıcaklığında ve atmosfer basıncında renksiz ve kokusuz bir gazdır. Orta basınç altında sıvılaştırılabilir. NF3 normal koşullar altında stabildir ve kolayca ayrışmaz. Ancak yüksek sıcaklıklara maruz kaldığında veya bazı katalizörlerin varlığında bozunabilir. NF3 atmosfere salındığında yüksek bir küresel ısınma potansiyeline (GWP) sahiptir.
Bu malzeme nerede kullanılır?
Elektronik endüstrisinde temizlik maddesi: NF3, yarı iletkenlerin, plazma ekran panellerinin (PDP'ler) ve diğer elektronik bileşenlerin yüzeylerinden oksitler gibi artık kirletici maddeleri çıkarmak için bir temizlik maddesi olarak yaygın şekilde kullanılır. Bu yüzeyleri zarar vermeden etkili bir şekilde temizleyebilir.
Yarı iletken imalatında aşındırma gazı: NF3, yarı iletkenlerin üretim sürecinde aşındırma gazı olarak kullanılır. Entegre devrelerin imalatında yaygın olarak kullanılan malzemeler olan silikon dioksit (SiO2) ve silikon nitrürün (Si3N4) aşındırılmasında özellikle etkilidir.
Yüksek saflıkta flor bileşiklerinin üretimi: NF3, çeşitli flor içeren bileşiklerin üretimi için değerli bir flor kaynağıdır. Floropolimerlerin, florokarbonların ve özel kimyasalların üretiminde öncü olarak kullanılır.
Düz panel ekran üretiminde plazma üretimi: NF3, sıvı kristal ekranlar (LCD'ler) ve PDP'ler gibi düz panel ekranların üretiminde plazma oluşturmak için diğer gazlarla birlikte kullanılır. Plazma, panel imalatı sırasındaki biriktirme ve aşındırma işlemlerinde esastır.
Bu malzemenin/ürünün kullanımına ilişkin özel uygulama ve düzenlemelerin ülkeye, sektöre ve amaca göre değişebileceğini unutmayın. Bu malzemeyi/ürünü herhangi bir uygulamada kullanmadan önce daima güvenlik kurallarına uyun ve bir uzmana danışın.
